安捷倫ICP電感耦合等離子體是一種通過(guò)電磁感應(yīng)作用加熱微小放電火焰，產(chǎn)生高溫等離子體場(chǎng)的技術(shù)。利用高頻電磁場(chǎng)通過(guò)電氣線圈產(chǎn)生交變磁場(chǎng)，從而在放電火焰中產(chǎn)生感應(yīng)電流（渦電流），進(jìn)而加熱火焰中的氣體，使其電離并形成等離子體。通常包括等離子體炬管、高頻發(fā)生器（產(chǎn)生高頻電流）、感應(yīng)圈、供氣系統(tǒng)和霧化系統(tǒng)等組件。炬管由三層同心石英玻璃管組成，外管內(nèi)切向通入的氬氣為等離子體工作氣或冷卻氣，中管通入的氬氣為輔助氣，內(nèi)管中的氬氣為載氣，將試樣氣溶膠引入炬中。

　　安捷倫ICP電感耦合等離子體的組成部分：

　　1.樣品引入系統(tǒng)（進(jìn)樣系統(tǒng)）

　　霧化器：將液體樣品轉(zhuǎn)化為細(xì)小氣溶膠（如同心玻璃霧化器、交叉流霧化器或高鹽霧化器）；

　　霧室（Spray Chamber）：去除大液滴，僅讓細(xì)小氣溶膠進(jìn)入等離子體，常用雙通路霧室或旋流霧室；

　　蠕動(dòng)泵：穩(wěn)定輸送樣品溶液，控制進(jìn)樣速率。

　　部分系統(tǒng)可選配激光燒蝕（LA）、氫化物發(fā)生（HG）或自動(dòng)進(jìn)樣器（ASX系列）實(shí)現(xiàn)固態(tài)或特殊形態(tài)樣品分析。

　　2.等離子體發(fā)生系統(tǒng)（離子源/激發(fā)源）

　　炬管（Torch）：通常為三同心石英管（Fassel型），中心通道導(dǎo)入樣品氣溶膠，外層通冷卻氣（Plasma Gas）、中層輔助氣（Aux Gas）、內(nèi)層載氣（Carrier Gas），均為高純氬氣；

　　射頻發(fā)生器（RF Generator）：提供高頻電磁場(chǎng)（通常27.12 MHz或40.68 MHz），功率范圍700–1600 W，用于激發(fā)氬氣形成高溫（6000–10000 K）等離子體；

　　感應(yīng)線圈（Load Coil）：銅制水冷線圈，環(huán)繞炬管上部，產(chǎn)生交變磁場(chǎng)維持等離子體穩(wěn)定燃燒。

　　3.光學(xué)/質(zhì)譜檢測(cè)系統(tǒng)

　　ICPOES：

　　光學(xué)系統(tǒng)（如中階梯光柵+棱鏡交叉色散）；

　　固態(tài)檢測(cè)器（CCD或CMOS），實(shí)現(xiàn)全譜simultaneous或快速sequential檢測(cè)。

　　ICPMS：

　　接口系統(tǒng)：包括采樣錐（Sampler Cone）和截取錐（Skimmer Cone），將常壓等離子體離子束引入高真空系統(tǒng)；

　　離子透鏡系統(tǒng)：聚焦離子束，去除中性粒子和光子干擾；

　　碰撞/反應(yīng)池（CRC）：消除多原子離子干擾（如使用He、H?、NH?等氣體）；

　　質(zhì)量分析器：多為四極桿（Quadrupole），高d型號(hào)含雙四極桿或飛行時(shí)間（TOF）；

　　檢測(cè)器：電子倍增器（EM）或法拉第杯，用于信號(hào)放大與采集。

　　4.真空系統(tǒng)（ICPMS特y）

　　多級(jí)機(jī)械泵+渦輪分子泵組合，維持接口區(qū)、離子透鏡區(qū)及質(zhì)量分析器的高真空環(huán)境（10??–10??mbar），確保離子有效傳輸。

　　5.控制系統(tǒng)與軟件

　　安捷倫專(zhuān)用軟件（如MassHunter for ICPMS，ICP Expert for ICPOES）；

　　實(shí)現(xiàn)儀器控制、方法開(kāi)發(fā)、自動(dòng)調(diào)諧、數(shù)據(jù)采集、定量分析、干擾校正及合規(guī)性報(bào)告生成；

　　支持智能診斷、遠(yuǎn)程監(jiān)控和審計(jì)追蹤（符合21 CFR Part 11）。

　　6.輔助與安全系統(tǒng)

　　冷卻循環(huán)水裝置（用于RF線圈和炬管冷卻）；

　　高純氬氣供氣系統(tǒng)（含減壓閥、凈化器）；

　　廢液收集與排風(fēng)系統(tǒng)；

　　安全聯(lián)鎖裝置（如炬管未安裝時(shí)禁止點(diǎn)火）。